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株式会社 ミラクル
〒136-0072
東京都江東区
大島9-3-16
東大島メトロプラザ2F
TEL 03-5628-3181
FAX 03-5628-3381
 
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干渉縞微小高さ測定装置 MODEL : ＭＬＭ－ＰＭＳ
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●干渉縞で微小高さ測定ができます●
干渉縞をピエゾアクチュエータで制御が出来ます。
カタログ  
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・高倍率でありながら高い解像力と
長い作動距離を持つリニーク式干渉
対物顕微鏡装置です。
・干渉縞をピエゾアクチュエータで微小に
変位させることにより、微小高さ測定が
できる測定装置です。
・装置専用の除振システムを搭載して
いますので、クリアな干渉縞での測定が
できます。
・ピエゾアクチュエータの移動をＰＩ制御で、
コントロールができます。
※ピエゾアクチュエータをパソコンで
制御を可能にする 「ピエゾ電圧変換機」
をオプションでご用意しています。
※お客様のワーク専用ジグも製作いたし
ますので、お問い合わせ下さい。 |
商品構成内容
①リニーク式干渉対物レンズ
ピエゾアクチュエータ付 ・無限遠 10× 作動距離 W.D 約20.3mm (倍率は、ご選択ができます)
②ピエゾコントローラボックス
・制御方式 ： PI制御
※本機とパソコンに 接続して、ピエゾアクチュエータの
移動をＰＩ制御で、コントロールできます。
ピエゾコントローラボックスとパソコンの間に変換機が
必要になりますので、ご注意下さい。
オプションで「ピエゾ電圧変換機」をご用意しています。
・オフセット調整 ： 10回転ダイヤル式
・アナログ制御入力 ： 0V～＋8V
・ピエゾアンプ 出力電圧 ： －10V～＋150V
出力電流 ： 60mA(MAX)
・電源 ： AC100V 50/60Hz)
③結像レンズユニット
・マウント ： Cマウント
④フォーカシングユニット
・ニコン製フォーカシングユニット（粗微動付）
⑤高剛性ベース(Z架台付)
・ベースサイズ ： 幅 200mm×奥行 250mm
⑥除振システム
⑦Ｘ・Ｙ軸ステージ
クロスローラ式 ・ステージサイズ ： 100mm × 100mm
・マイクロメータヘッド移動量 ： 28.5mm (±12.5mm)
・移動精度 ： 真直度:3μm 運動の平行度:20μm
・ステージクランプ付
⑧カラーCCDカメラ
・1/2インチ (各メーカー、種類のご選択ができます)
⑨カメラアダプタ
⑩カメラケーブル(12Pin)
・ケーブル長さ ： 2m
⑪BNCケーブル
・ケーブル長さ ： 1m
⑫同軸落射LED照明
・LED色 ： 白色
・調光方式 ： 約60kHzPWMコントロール
（ツマミ式ボリューム付）
・電源 ： AC100V 50/60Hz
⑬液晶モニタ
・BNC端子付
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干渉対物レンズピエゾアクチュエータ部
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ご使用方法
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製品のご紹介
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干渉対物レンズ単体をご用意しています。
